Mit mikrostrukturierten Elektrodensystemen (MSE) können flächige und homogene Glimmentladungen in einem weiten Druckbereich bis zu Atmosphärendruck generiert werden. Die Elektrodenabstände im Mikrometerbereich, die durch moderne mikromechanische und galvanische Techniken realisiert werden, sind so klein, daß schon mit dem Anlegen moderater Hochfrequenz-Spannungen (13.56 MHz; 80 V bis 390 V) elektrische Felder mit sehr hohen elektrischen Feldstärken erzeugt werden, die eine Zündung von Entladungen in den Gasen He, Ne, Ar und N₂ ermöglichen. Die erzeugten nicht-thermischen Plasmen wurden mit Hilfe von OES und LIF-Spektroskopie sowie einer elektrischen Meßsonde charakterisiert. Mit einem auf der Basis der MSE als Plasmaquelle entwickeltem Mikroreaktor wurden CF₄-Abbauexperimente mit Abbauraten von über 90 % bei einem Druck von 100 mbar in He und N₂ durchgeführt. Die Abbauraten wurden massenspektrometrisch bestimmt. Bei Atmosphärendruck werden in He Abbauraten für CF₄ und NO von 70 % erreicht. Ein Multireaktorsystem mit parallel geschalteten Mikroreaktoren wurde als modulartiger Scale-Up entwickelt und getestet.