Abteilung Laserchemie
Prof. Dr. Karl-Heinz Gericke

Unterabteilung Plasmachemie
Hans-Sommer-Straße 10 
38106 Braunschweig 

(Anfahrtsplan)

Ansprechpartner:

Christian Schrader
Andreas Schenk
Lutz Baars-Hibbe

Mit mikrostrukturierten Elektrodensystemen (MSE) können flächige und homogene Glimmentladungen in einem weiten Druckbereich bis zu Atmosphärendruck generiert werden. Die Elektrodenabstände im Mikrometerbereich werden durch moderne mikromechanische und galvanische Techniken realisiert. Sie sind so klein, daß schon mit dem Anlegen moderater Hochfrequenz-Spannungen (13.56 MHz; 80 V bis 390 V) elektrische Felder mit sehr hohen elektrischen Feldstärken erzeugt werden, die eine Zündung von Entladungen in den Gasen He, Ne, Ar und N₂ ermöglichen.

Diese neuartige alternative Plasmaquelle bei Atmosphärendruck ermöglicht viele Anwendungen in folgenden Bereichen:
 

• Abgasabbau (z.B. von CF₄ oder NO_x)
• Beschichtung von verschiedenen Substrattypen (Metalle, Si, Plastikfolien) mit DLC-Schichten oder SiO₂-Schichten
• Sterilisation von Lebensmittelverpackungen (Plastikfolien)
• Synthesechemie (z.B. Produktion von genau definierten NO-Konzentrationen für medizinische Zwecke)


Für die Analyse der Plasmen bzw. der Plasmachemie stehen uns sowohl spektroskopische Methoden (OES, LIF, MS) als auch elektrische Meßgeräte zur Verfügung. 

Projekte:
 

• Elektrisch steuerbare Mikroreaktoren zur Abgasentsorgung fluorhaltiger Substanzen gefördert vom BMB+F (Förderkennzeichen 03D0070B/6)

• Grundlagen zur Erzeugung flächiger Plasmen bei Atmosphärendruck mit neuartigen, steuerbaren Elektrodensystemen gefördert vom BMB+F (Förderkennzeichen 13N7338/0); Abschlußbericht (Projektende 31.12.2001); veröffentlicht in InfoPhysTech, Nr. 31 (2001) 1-4.

Veröffentlichungen, Patente

• Institut für Mikrotechnik der TU Braunschweig
  (Ansprechpartner: Philipp Sichler)


• Institut für Kernphysik der Universität Frankfurt a.M.
  (Ansprechpartner:
    Prof. Dr. Horst Schmidt-Böcking) 


• mgt mikroglas technik AG
  (Ansprechpartner: Andreas Freitag)


• centrotherm Dresden
  (Ansprechpartner: Dr. Lutz Fabian


• Robert Bosch GmbH
  (Ansprechpartner: Dr. Stefan Grosse)


• Roth & Rau AG
  (Ansprechpartner:
  Dr. Hermann Schlemm)